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預選課表

半導體材料與元件量測技術

114-1 開課

  • 流水號

    13084

  • 課號

    DMHI5004

  • 課程識別碼

    K43 U0040

  • 無分班

  • 3 學分

  • 選修

    應用力學研究所 / 元件材料與異質整合碩士學位學程 / 元件材料與異質整合博士學位學程 / 電子工程學研究所

      選修

    • 應用力學研究所

    • 元件材料與異質整合碩士學位學程

    • 元件材料與異質整合博士學位學程

    • 電子工程學研究所

  • 李敏鴻
  • 五 7, 8, 9

  • 請洽系所辦

  • 1 類

  • 修課總人數 50 人

    本校 44 人 + 外校 6 人

  • 無領域專長

  • 英文授課
  • NTU COOL
  • 核心能力與課程規劃關聯圖
  • 備註

    應力所 本課程以英語授課。上課地點：學新館113室
    元件材料碩士、電子所 本課程以英語授課。上課教室：學新館113室
    元件材料博士 本課程以英語授課。教室：學新館113室

  • 本校選課狀況

    已選上
    0/44
    外系已選上
    0/0
    剩餘名額
    0
    已登記
    0
  • 課程概述
    本課程旨在教學基礎半導體元件並經由材料特性介紹瞭解，而後逐一教學相關元件量測原理及技術，最後進入到現今所需之半導體元件。
  • 課程目標
    提供次世代先進半導體技術及記憶體具體的發展規劃，及培育更具前瞻性、更符合產業需求的重點科技領域人才。於此課程學習後，學生將具有基礎之半導體物理背景知識及以目前VLSI技術相關元件之特性量測能力，以培養符合未來產業發展需求的高階人才。
  • 課程要求
  • 預期每週課前或/與課後學習時數
  • Office Hour
    *此 Office Hour 需要提前預約
  • 指定閱讀
  • 參考書目
    Dieter K. Schroder, “Semiconductor Material and Device Characterization, ” 3rd edition, John Wiley & Sons, Inc., 2006.
  • 評量方式
    30%

    Practical Measurement Report

    15% x 2

    70%

    Examinations

    35 % x 2

  • 針對學生困難提供學生調整方式
    調整方式說明
    D1

    由師生雙方議定

    Negotiated by both teachers and students

  • 補課資訊
  • 課程進度
    9/5第 1 週Introduction + Chapter 1 - Resistivity
    9/12第 2 週Practical Course (I)
    9/19第 3 週Chapter 2 - Carrier and Doping Density
    9/26第 4 週Chapter 3 - Contact Resistance and Schottky Barriers
    10/3第 5 週Chapter 4 - Series Resistance, Channel Length and Width, and Threshold Voltage
    10/10第 6 週National Holiday
    10/17第 7 週Chapter 5 - Defects
    10/24第 8 週National Holiday
    10/31第 9 週Mid-Examination (ch1-ch5)
    11/7第 10 週Chapter 6 - Oxide and Interface Trapped Charges, Oxide Thickness
    11/14第 11 週Chapter 7 - Carrier Lifetimes
    11/21第 12 週Chapter 8 - Mobility (School sports day)
    11/28第 13 週Chapters 9, 10, 11 - Charge-based, Probe, Optical, Chemical and Physical Characterization
    12/5第 14 週Chapter 12 - Reliability and Failure Analysis
    12/12第 15 週Practical Course (III)
    12/19第 16 週Final-Examination (ch6-ch12)